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PMS電子遷移率光譜儀
- 更新時(shí)間：2022-11-21
- 產(chǎn)品型號(hào)：AirSentry® II
- 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
- 產(chǎn)品品牌：其他品牌
- 產(chǎn)品廠地：北京市
- 訪問次數(shù)：2257
PMS電子遷移率光譜儀用于檢測(cè)空氣分子級(jí)污染（AMC)，在監(jiān)測(cè)到含酸類、胺類、氨以及氯化物氣體時(shí)提醒用戶。它具有ppt級(jí)的靈敏度，傳感器反應(yīng)迅速、監(jiān)測(cè)選擇性廣、性能穩(wěn)定。
AirSentry® II 電子遷移率光譜儀用于檢測(cè)空氣分子級(jí)污染（AMC)，在監(jiān)測(cè)到含酸類、胺類、氨以及氯化物氣體時(shí)提醒用戶。它具有ppt級(jí)的靈敏度，傳感器反應(yīng)迅速、監(jiān)測(cè)選擇性廣、性能穩(wěn)定。Air Sentry II傳感器配有中央控制軟件，可以輕松地采集分析數(shù)據(jù)。Air Sentry II傳感器提供連續(xù)可追溯的數(shù)據(jù)，來快速回應(yīng)污染源和污染事件。
特點(diǎn)
酸類和基底（胺類、氨以及氯化物）的高靈敏度檢測(cè)
使用點(diǎn)、多點(diǎn)式、移動(dòng)式監(jiān)測(cè)應(yīng)用的通用產(chǎn)品配置
體積小，可放在任何位置
以太網(wǎng)，RS-232, 4-20毫安輸出
優(yōu)點(diǎn)
連續(xù)監(jiān)測(cè)關(guān)鍵點(diǎn)
耐久可靠的數(shù)據(jù)收集、控制、分析
長(zhǎng)期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性
每份測(cè)試成本
應(yīng)用
在蝕刻技術(shù)位置里的實(shí)時(shí)腐蝕監(jiān)測(cè)
在關(guān)鍵的光刻系統(tǒng)內(nèi)的實(shí)時(shí)胺類以及氨的監(jiān)測(cè)
化學(xué)過濾器有效率的資格確認(rèn)
遍及潔凈室以及生產(chǎn)工具里的污染源的追蹤和去除
前端開口片盒圓晶片存儲(chǔ)模塊內(nèi)的污染分析
